Cihaz Adı / Marka / Model
• Adı: Maske Hizalayıcı (Mask Aligner) / UV Işınlama Sistemi
• Marka: ALİGNER
• Model: EVG 620

Genel Bakış
EVG 620 maske hizalayıcı, otomatik üst ve alt optikler kullanarak fotolitografi süreçlerinde yüksek hassasiyetli hizalama ve UV ışınlama yapılmasına olanak tanır. Sistem ile üstten (top side) 0,5 µm hassasiyete kadar, alttan (bottom side) ise 1 µm hassasiyete kadar hizalama gerçekleştirilebilmektedir. Farklı kontakt/proximity modları sayesinde süreç gereksinimlerine uygun esnek ışınlama seçenekleri sunar. 

Kullanım Amacı / Çıktı
• Fotolitografide maske–wafer hizalaması (top side / bottom side)
• UV ışınlama ile fotorezist pozlama (exposure) işlemleri
• Çok katmanlı süreçlerde yüksek hassasiyetli hizalama ile proses doğrulama ve tekrarlanabilirlik
• Soft/Hard/Vacuum contact ve Proximity modlarıyla farklı proses ihtiyaçlarına uyum

Uygulama Alanları
• MEMS ve mikro/nanofabrikasyon fotolitografi süreçleri
• Çok katmanlı maskeli proseslerde hizalama (overlay) çalışmaları
• Silikon wafer üzerinde devre/mikroyapı üretimi ve prototipleme
• Ar-Ge ve pilot üretim fotolitografi iş akışları

Öne Çıkanlar
• Top side 0,5 µm; bottom side 1 µm hizalama doğruluğu ile yüksek hassasiyet
• 100 mm wafer uyumluluğu ve 5” maske tutucu ile standart süreçlere uygunluk
• Soft/Hard/Vacuum contact ve Proximity ışınlama modlarıyla esnek proses yönetimi

Teknik Özellikler

İletişim / Hizmet Talebi
Hizmet talebi için: [email protected] adresine e-posta gönderebilirsiniz. (Numune türü, amaç ve tarih aralığını belirtmeniz rica olunur.)