Cihaz Adı / Marka / Model
• Adı: Fotolitografi Spin Coater ve Hot Plate Sistemi (Pre-bake / Post-bake)
• Marka: BREWERSCIENCE
• Model: —

Genel Bakış
Bu sistem, fotolitografinin kritik adımlarından olan fotorezist spin etme (spin coating), ön pişirme (pre-bake) ve son pişirme (post-bake) işlemlerini gerçekleştirmek için kullanılmaktadır. Brewer cihazı, Windows işletim sistemi kullanan dokunmatik ekran üzerinden kontrol edilerek süreç parametrelerinin kullanıcı dostu bir arayüz ile yönetilmesine olanak tanır. 

Kullanım Amacı / Çıktı
• Fotorezist kaplama için kontrollü spin coating işlemi
• Pre-bake ve post-bake adımları ile rezist film özelliklerinin stabilizasyonu
• Reçete (recipe) tabanlı proses yönetimi ile tekrarlanabilir litografi süreçleri
• Geniş numune boyutu aralığında (wafer/örnek) litografi iş akışına uyum

Uygulama Alanları
• Fotolitografi süreçleri (rezist kaplama, pre-bake, post-bake)
• Mikro/nanofabrikasyon için yüzey kaplama ve ısıl proses adımları
• Wafer/numune hazırlama ve proses standardizasyonu

Öne Çıkanlar
• 250.000 reçete kapasitesi ile yüksek ölçekli proses yönetimi
• 0–6000 rpm spin hız aralığı ve yüksek hızlanma kapasitesi ile esnek kaplama koşulları
• Ortam sıcaklığından 300°C’ye kadar sıcaklık aralığı ve yüzey genelinde 0,3°C sıcaklık kararlılığı

Teknik Özellikler

İletişim / Hizmet Talebi
Hizmet talebi için: [email protected] adresine e-posta gönderebilirsiniz. (Numune türü, amaç ve tarih aralığını belirtmeniz rica olunur.)